전자현미경은 조명의 원천으로 빛이 아닌 가속화된 전자를 이용하는 현미경이다. 해상력은 광학현미경의 10만 배에 달하여 훨씬 더 작은 물체를 볼 수 있다. 1939년에 지멘스(Simens) 사는 최초의 상업용 투과전자현미경(TEM)을 내놓았다. 이를 보완한 주사전자현미경(SEM)은 1965년 최초로 상업화가 되었다. 전자현미경은 국가유산 보존사업에서 중요한 기능을 담당하고 있다. 우리나라 문화유산보존과학센터터에는 주사전자현미경이 설치되어 있어 안료, 유리, 토기의 성분 확인 및 조직 관찰, 정성 분석 등에 활용되고 있다.