일제강점기 동안 각 독립운동단체는 일제에 협력한 자의 처벌을 주요 정책으로 삼았으며, 광복 후 각 정치단체는 미군정 당국에 이들의 제재를 요구하였으나 미군정 당국은 이들의 상당수를 군정청에서 이용하였으므로 처벌에 반대하였으며, 1947년 7월 과도정부입법의원은 「민족반역자·부일협력자·모리간상배에 관한 특별법」을 제정했으나 미군정청의 반대로 공포되지 못하였다.
그러나 1948년 3월 군정법령 제175호 「국회의원선거법」에서 친일분자의 국회의원선거권 및 피선거권을 제한하였으며, 이 법에 의하여 선출된 국회의원이 제정한 「헌법」제101조(이 헌법을 제정한 국회는 단기 4278년 8월 15일 이전의 악질적인 반민족행위를 처벌하는 특별법을 제정할 수 있다)에서는 이들을 소급입법에 의하여 처벌할 수 있도록 하였으므로 이 헌법조항을 근거로 제정된 법률이 바로 이 법률이다.
친일행위를 한 자를 그 가담의 정도에 따라 최고 사형까지의 처벌을 할 수 있도록 하고, 그 밖에 재산몰수, 공민권정지의 조처를 할 수 있게 하였다.
그리고 반민족행위를 조사하기 위하여 국회의원 10인으로 구성되는 반민족행위특별조사위원회를 두어 조사보고서를 특별검찰부에 제출하도록 하고, 대법원에 특별재판부를 두어 재판을 담당하게 하며, 특별재판부에 특별검찰부를 설치하여 공소를 제기하도록 하였다.
재판은 단심제로 하고 공소시효를 법률의 공포일로부터 2년이 되는 1950년 9월 22일까지로 하였다. 그러나 이 법률은 제정당시부터 친일분자의 견제를 받았으며, 특히 일제강점기에 관직에 있던 자를 중용하였던 이승만(李承晩) 대통령이 이를 탐탁하게 생각하지 않았다.
1949년 6월에는 특별조사위원회가 일제강점기에 헌병 또는 경찰로 친일행위를 한 경력이 있는 경찰간부를 조사하자 경찰이 특별조사위원회 사무실에 난입하여 직원을 연행하고 서류를 압류한 사건이 일어났으며, 친일분자의 처벌을 강력히 주장하던 일부 의원이 이른바 국회프락치사건으로 구속되었다.
그러자 같은 해 7월 법률이 개정되어 공소시효가 1949년 8월로 앞당겨지고, 1949년 9월 다시 법률이 개정되어 특별조사위원회·특별재판부·특별검찰부를 해체하고 그 기능은 대법원과 대검찰청에 이관되었으며, 이 업무는 1950년 3월까지 대법원·대검찰청에 의하여 수행되었다.
이 기간 동안 680여 명이 조사를 받았으나 결국 집행유예 5인, 실형 7인, 공민권정지 18인 등 30인만이 제재를 받았고, 실형의 선고를 받은 7인도 이듬해 봄까지 재심청구 등의 방법으로 모두 풀려나 친일파의 숙청작업은 용두사미로 끝나고 말았다.