대한불교조계종 제10교구 본사인 은해사의 말사이다. 661년(문무왕 1) 원효대사가 창건하였고 고려 중기에 원응국사(圓應國師)가 운문사를 중창한 뒤 이곳에 와서 신흥암(新興庵)이라는 이름으로 중창하였다.
『경상도읍지』에 수록된 「내원암누각창건기문(內院菴樓閣刱建記文)」과 「반룡사사적비문 盤龍寺事蹟碑文」을 보면, 1623년(인조 1) 이후 1700년(숙종 26)까지 선당(禪堂)·승당(僧堂)·대광전(大光殿)·가허루(駕虛樓)·관음전·원음전(圓音殿)·향적루(香積殿)·해탈문·영우전(影于殿)·해운당(海雲堂)·제월루(霽月堂)·명월당(明月堂)·만월루(滿月堂)·법성료(法性寮)·원륭료(圓融殿)·천왕문·명부전·팔상각(八相閣)·홍려전(鴻蘆殿)·무상원(無常院)·극락전·내향각(內香閣)·외향각(外香閣)·봉황문(鳳凰門)·금강문(金剛門) 등 25개의 전각을 지었다.
또, 내원암(內院庵)·취운암(翠雲庵)·대적암(大寂庵)·은선암(隱仙庵)·안적암(安寂庵) 등 5개의 산내암자가 있었다고 하여 당시의 사세를 짐작할 수 있다. 그 뒤 퇴락하였으나 1920년에 운학(雲學)이 중창하였고, 1989년에는 산신각, 1992년에는 용왕각(龍王閣)을 지어 오늘에 이른다. 현존하는 당우로는 대웅전·산령각·용왕각 및 요사채 등이 있다.