언제 설치되었는지는 확실하지 않다. 단지 976년(경종 1)에 내사성의 최고관직인 내사령(內史令)이 임명되고 있는 점으로 보아 늦어도 이때에는 직제로서 확립을 보았을 것이라고 추정된다.
내사성은 문하성·상서성과 함께 삼성제의 한 관부로 성립되었으나 실제로는 문하성의 기능과 서로 밀접하여 단일정사기관, 즉 내사문하성으로 1성과 같은 성격을 가지게 되었다. 내사성은 1061년(문종 15) 6월에 중서성이라 개칭되었고, 따라서 내사문하성도 중서문하성이라 개칭되었다. →문하성