1910년 10월 1일부터 위압을 떨치기 시작한 조선총독부는 이 의거를 계기로 105인 사건을 일으켜 민족지도자 윤치호(尹致昊)·양기탁(梁起鐸)·이승훈(李昇薰) 등을 전국에 수배, 일제히 검거하였다.
이 의거에 주동적 임무를 띤 안명근은 종형 안중근(安重根)의 쾌거를 본받아 치밀하게 거사를 준비하였다. 그러나 일본 경찰의 안씨 일족에 대한 감시가 혹심해 순조롭게 진행되지 못하고 있었다. 그는 동지를 규합하여 총독 등 일제의 침략 수뇌부를 폭살, 제거할 계획을 수립하고 군자금을 모집하기로 한 뒤 서간도에 잠시 이주하였다.
그 일대에 무관학교(武官學校)를 건립하여 무장독립군을 양성할 원대한 계획도 병행시켰다. 이를 실현시키기 위해 국내에 온 그는 배경진(裵敬鎭)·박만준(朴萬俊)·한순직(韓淳稷) 등과 군관학교 설립의 구체적인 의견을 교환하였다.
그 자금 조달을 위해 황해도 신천 출신 이원식(李元植)에게 1만원을 청구해서 6,000원을, 송화 출신 신석효(申錫孝)로부터 3,000원을 조달하였다. 이후 신천 출신의 민병찬, 민영설에게 1만원의 군자금을 요구했으나 이들은 불응하였을 뿐 아니라 재령의 일본 헌병대에 이 사실을 밀고하여 안명근은 전국에 지명수배되었다.
국내에 은신 중이던 안명근은 그 해 12월 27일 일제의 대륙 침략의 관문인 압록강 철교의 준공식에 데라우치가 참석할 것이라는 소식을 들었다. 이 기회를 이용해 안명근은 평양역 근처에 대기하면서 공작을 치밀하게 준비하던 중 일본 경찰에 잡히고 말았다.
일본 경찰은 당시 안명근이 소지하고 있던 거금을 데라우치 사살 자금으로, 소지하고 있던 권총 등 무기는 거사용이라 하여, 이른바 암살기도범으로 입건하였다. 그는 계속 부인했지만 고문에 못이겨 자백하고 말았다.
일제는 이 사건을 계기로 안명근이 신민회(新民會) 회원임을 알아차렸다. 1911년 1월 전국 경찰에 명해 윤치호·양기탁·이승훈·유동열(柳東說)·김구(金九)·김홍량(金鴻亮)·최명식(崔明植)·도인권(都寅權)·안태국(安泰國) 등 신민회 민족지도자 600인을 검거하였다. 그 중 105인을 기소, 105인 사건을 야기하였다.
안명근의 데라우치사살미수의거로 인해 신민회 사건과 105인 사건이 연속적으로 일어난 셈이다. 안명근은 법정에서 정정당당하게 투쟁하다가 무기징역을 언도받고 10년간 복역한 뒤 풀려났다.