원래 백제의 혜군(槥郡)이었는데 757년(경덕왕 16)혜성군(槥城郡)으로 고치고 당진(唐津)·여읍(餘邑)·신평(新平) 등을 영현(領縣)으로 하였다. 1018년(현종 9) 운주(運州 : 지금의 洪城)의 속현이 되었다가, 뒤에 감무(監務)를 두었다.
그 뒤 1290년(충렬왕 16) 고을 사람 복규(卜奎)가 합단(哈丹)의 군사를 물리쳤다는 공로로 지면주사(知沔州事)를 두어 격상시켰다. 1413년(태종 13)면천군(沔川郡)으로 고쳤는데, 그 뒤 약 500년간 거의 변동이 없었다.
1914년 행정구역 개편 때 당진군에 편입되어 면천면이 되었다. 조선 선조 때 지변(地變)이 있어 5개면의 육지가 바다로 변하였다. 주민들이 낙심하자, 이를 위로하는 의미에서 윤년마다 송악면 기지시리(機池市里)에서 줄다리기를 하였다.