한국불교태고종에 속한다. 신라시대에 원효(元曉)가 창건하였다고 전한다. 전설에 의하면 이 삼성산에 원효가 삼막사(三幕寺)를, 의상(義湘)이 이막사(二幕寺)를, 윤필(尹弼)이 일막사(一幕寺)를 창건하였는데, 그 뒤 일막과 이막사는 없어지고 삼막사만 남았다고 하며, 고려 말기에 나옹(懶翁)이 이 절을 중창하고 반월암이라 하였다고 한다.
그 뒤 1918년에는 주지 원옹(圓翁)이 이응선(李應善)의 시주를 얻어서 법당 6칸과 요사채 8칸을 중수하였고, 1942년에 암자 뒷산이 붕괴되어 법당과 요사채 일부가 도괴된 것을 원주(院主) 삼현(三賢)이 보수하였다. 그 뒤 1950년 6·25 때 타버린 것을 중건하여 오늘에 이르고 있다.
현존하는 당우로는 인법당(因法堂)·산신각 등이 있다.