이미 18세기 말부터 프랑스에서 사용되던 이 단위법이 세계적인 도량형법으로 채택된 것은 1875년 프랑스의 주최로 열린 국제회의에서 미터법조약(meter 法條約)이 체결되고부터이다.
이 미터법이 우리 나라에 도입된 것은 1902년으로, 이때의 기록을 보면, 1미터는 주척 5척, 1파(把)는 1센티알(先知戛), 1부는 1알, 1결(結)은 1헥토알(赫得戛), 1리터(翊突)는 5홉(合)5작(勺)4초(秒)3찰(撮)5규(圭), 10리터는 1데카(deca)리터로, 5승5홉4작3초5찰2규 등으로 되어 있다.
그러나 우리 나라 도량형법을 완전한 미터법으로 통일 실시한 것은 1960년 법령이 발표되고부터이나, 이때 사용한 넓이의 단위 이름은 예전에 제정된 이름이 아니다. 현대과학에서의 양적 표시법은 모두 미터원기(原器)의 길이와 킬로그램 원기의 질량을 기준으로 한 수치이므로, 만일 이 기준 원기가 없어진다면, 각종 기록에 나타나 있는 질량의 엄밀한 재현은 불가능하게 된다.
그 까닭은 1799년에 제정된 길이 표준은 지구 자오선의 4,000만분의 1이었으나, 현재는 당시의 길이 표준이 정확한 4,000만분의 1이 되지 않는다는 사실이 밝혀졌을 뿐만 아니라, 1킬로그램도 엄밀하게는 4℃의 물 1리터의 질량과는 극히 약간이지만 차이가 있기 때문이다. 그러므로 길이와 질량의 절대적인 표준은 현재의 미터원기로만 가능할 뿐 다른 것으로는 나타낼 수 없다.
이러한 이유에서 1960년 국제총회에서는 미터원기가 없어졌을 경우를 생각하여 크립톤 86원자의 준위(準位) 2P10과 5d5 사이의 천위(遷位) 때 생기는 빛의 진공중에서의 파장의 16억 5,076만 3,732배 길이를 1미터로 한다고 결의하였다. 이러한 부원기가 생김으로써 미터원기가 없어지더라도 1미터 길이는 언제 어디서라도 재현이 가능하게 되었다.
또, 1983년 제17차 국제총회에서는 진공중에서의 평면전자파가 2억 9,979만 2,458분의 1초 사이에 진행한 거리와 같은 길이로 1미터 길이를 정하였다. 이것은 상징적인 길이 표준이다.
한편, 자연과학에서는 도량형의 표준제도 외에도 시간의 표준 초(秒)와, 전류의 표준 암페어(A)까지도 합한 단위계를 미터법이라 하고 있다. 경우에 따라서는 여기에 온도의 표준과 빛의 밝기의 표준까지도 포함시켜 미터법이라고 하기도 한다. 현재 우리 나라의 표준부원기는 대전에 있는 표준연구소에 보관되어 있다.