1984년 사적으로 지정되었다. 지정면적 2만 9,084㎡. 1974년동국대학교 박물관에서 삼천불전지(三千佛殿址)를 발굴하여 일부 사찰의 규모를 밝혔고, 다수의 소조불(塑造佛)의 파편과, 백제와 신라의 기와를 비롯한 유물들을 수습하여 사찰의 역사를 일부 밝혀내기도 하였다.
현재 절터에는 절의 중창자인 낭혜(朗慧)가 입적한 뒤 그의 업적을 기리기 위하여 세운 낭혜화상백월보광탑비(국보, 1962년 지정)를 비롯하여, 보령 성주사지 오층석탑(보물, 1963년 지정), 중앙 삼층석탑(보물, 1963년 지정), 서 삼층석탑(보물, 1963년 지정)과 동 삼층석탑(보물, 2019년 지정), 성주사지 석등 · 철불대좌 등의 유물과 건물의 초석 등 많은 석물이 남아 있다. 성주사지 석등은 1974년 충청남도 유형문화재(현, 유형문화유산)로 지정되었다.